монокристаллическая
пластина
Спецификация:
- Метод: резка алмазной проволокой;
- Тип: (p-тип)
- УЭС от 0,5 до 1,5 Ω·см
- ВЖННЗ,> 20 мкс;
- Концентрация кислорода < 9 · 1017
- Концентрация углерода < 1 · 1017
- Длина 156,75±0,25 мм ;
- Диагональ 210 ± 0,25 мм;
- Длина фаски 8,5 ± 0,5 ;
- Толщина 190 ± 10 мкм;
- TTV < 30 мкм;
- Прогиб (парусность) < 50 мкм;
- Глубина следов реза < 10 мкм;
- Сколы не более 0,3 мм;
- Микротрещины, пятна, отверстия – отсутствуют
мультикристаллическая
пластина
Спецификация:
- Метод: резка алмазной проволокой;
- Тип: (p-тип)
- УЭС от 1,0 до 3,0 Ω·см
- ВЖННЗ,> 3,5 мкс;
- Концентрация кислорода < 5 · 1017
- Концентрация углерода < 5 · 1017
- Длина 156,75 ± 0,25 мм
- Диагональ 220,2 ± 0,5 мм
- Длина фаски 0,5 – 2 мм
- Толщина 190 ± 10 мкм
- TTV < 30 мкм
- Прогиб (парусность) < 50 мкм
- Глубина следов реза < 10 мкм
- Сколы не более 0,3 мм
- Микротрещины, пятна, отверстия – отсутствуют
